真空腔室L400×W440×H450mm,采用SUS304優質不銹鋼
觀察窗Φ100mm,含磁力擋板
屏蔽板不銹鋼,便于拆卸清潔、更換
水冷蒸發電極8根組成4組
金屬蒸發電源功率3kW
復合分子泵JTFB-650Z脂潤滑分子泵,抽速650L/s
直聯高速旋片式真空泵TRP-36,抽速9L/s
氣動高真空插板閥DN150
前級閥/旁路閥DN40
放氣閥φ10 電磁充氣閥
數顯復合真空計兩低一高,含規管
波紋管、真空管道材質SUS304不銹鋼
電阻蒸鍍機是一種用于薄膜沉積的設備,廣泛應用于半導體、光電、 optics 等領域。它的基本工作原理是通過電阻加熱將材料(通常是金屬或合金)加熱到蒸發溫度,使其從固態轉變為氣態,然后冷卻后在基材上形成薄膜。
以下是電阻蒸鍍機的一些關鍵組成部分和特點:
1. **電阻加熱源**:通過電阻絲或鎢絲加熱蒸發源,相關溫度能夠控制材料的蒸發速率。
2. **真空室**:在真空環境下進行蒸鍍可以減少氣體分子的干擾,從而提高薄膜的質量和純度。
3. **蒸發源**:放置待蒸發材料的地方,常用的材料有鋁、金、銀等。
4. **基材夾持系統**:用于固定待涂覆的物體,確保薄膜均勻性。
5. **厚度監測器**:通常使用晶體監測器(如QCM)來實時監測薄膜的厚度,確保達到預定的沉積量。
6. **冷卻系統**:在蒸鍍過程中,冷卻系統可以防止設備過熱,保證設備和材料的穩定性。
電阻蒸鍍機具有操作簡便、控制準確和沉積均勻等優點,適合大面積和高均勻性薄膜的制備。由于其熱沉積的特性,相比其他蒸鍍方式(例如電子束蒸鍍),更適合處理低熔屬和合金。
電阻蒸鍍機是一種常用于薄膜制作的設備,尤其在半導體、光電和光學材料的制造中廣泛應用。其主要特點包括:
1. **高真空環境**:電阻蒸鍍機通常在高真空條件下工作,這有助于控制薄膜的質量,減少氣體污染。
2. **均勻性**:由于蒸發源的設計和定位,電阻蒸鍍可以實現良好的膜厚均勻性,適合對膜層均勻性要求較高的應用。
3. **可控性**:通過調節電流和蒸發源與基板之間的距離,可以控制薄膜的生長速率和厚度,便于實現膜層的特定要求。
4. **適用材料廣泛**:電阻蒸鍍機能夠蒸發多種金屬和合金,如鋁、銅、鎳等,也可用于某些氧化物和其他材料的沉積。
5. **易于操作**:操作相對簡單,用戶可以通過計算機界面或控制面板快速設置和調整參數。
6. **可擴展性**:許多電阻蒸鍍機設計上支持多種蒸發源,可以根據生產需求進行靈活配置,滿足不同材料和工藝要求。
7. **經濟效益**:相比其他蒸鍍技術(如濺射或化學氣相沉積),電阻蒸鍍機的設備和運行成本相對較低,適合大規模生產。
8. **適應性強**:不僅適用于實驗室研究,還可用于工業生產,適用于基材(如玻璃、塑料、硅片等)的薄膜沉積。
綜上所述,電阻蒸鍍機因其、靈活和經濟性,成為許多領域中常用的薄膜沉積設備。

有機蒸發鍍膜機是一種用于將有機材料(如有機半導體、發光材料等)蒸發并沉積到基材上的設備。其主要功能包括:
1. **薄膜沉積**: 可以在基材表面均勻沉積有機薄膜,常用于有機電子設備如OLED顯示器、太陽能電池等的制作。
2. **真空蒸發**: 在高真空環境下進行蒸發,避免了材料的氧化和污染,從而提高薄膜的質量。
3. **可控性**: 通過調整蒸發速率、溫度和沉積時間,可以控制薄膜的厚度和均勻性。
4. **材料兼容性**: 能夠處理多種有機材料,包括聚合物、有機小分子等,適用范圍廣泛。
5. **多層結構**: 可以實現多層鍍膜,從而構建復雜的光電結構,滿足不同器件的需求。
6. **批量生產能力**: 適合大規模生產,具備的生產能力。
7. **自動化控制**: 一些設備配備自動化系統,可以實現自動加載、監測和控制,提高生產效率和穩定性。
總的來說,有機蒸發鍍膜機在有機光電器件的制造中發揮著至關重要的作用。

熱蒸發鍍膜機是一種用于薄膜沉積的設備,廣泛應用于材料科學、光電器件制造、表面改性等領域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉積**:通過熱蒸發過程將材料(如金屬、半導體或絕緣體)加熱溫,使其蒸發并在基材表面沉積形成薄膜。
2. **膜層控制**:可控制沉積速率和膜層厚度,以滿足不同應用的要求。
3. **真空環境**:在高真空條件下操作,減少氣體分子對蒸發材料的干擾,從而提高膜層質量。
4. **材料多樣性**:能夠使用多種不同的蒸發材料,滿足不同材料系統的需求。
5. **均勻性**:能夠實現均勻的膜層沉積,適用于大面積基材的鍍膜。
6. **兼容性**:可以與其他鍍膜技術(如濺射、化學氣相沉積等)結合使用,以實現更復雜的薄膜結構。
7. **自動化與監控**:許多現代熱蒸發鍍膜機配備了自動化控制系統和監測儀器,方便實時監控沉積過程。
通過這些功能,熱蒸發鍍膜機在電子器件、光學元件、傳感器等領域中扮演著重要角色。

蒸發舟是用于蒸發物質的一種設備,廣泛應用于薄膜制備、材料合成和真空蒸發等領域。在蒸發過程中,蒸發舟在高溫下加熱,使得固體顆粒轉變為氣態,從而形成薄膜或其他材料。
蒸發舟蒸發顆粒的特點主要包括以下幾個方面:
1. **粒度均勻性**:蒸發舟通常能夠提供比較均勻的加熱,從而使得蒸發出來的顆粒在粒度上保持一致,有助于提高材料的性能。
2. **高純度**:在真空條件下進行蒸發,能夠有效減少雜質的引入,從而提高所得到的薄膜或顆粒的純度。
3. **可控性強**:通過調整溫度、壓力和蒸發時間,可以控制顆粒的蒸發速率和終的結構特性。
4. **形成薄膜的能力**:蒸發過程中,顆粒在冷卻后會凝結形成薄膜,具有良好的附著性和均勻性。
5. **適用范圍廣**:可適用于多種材料,例如金屬、氧化物、氮化物等,應用于電子器件、光學涂層等領域。
6. **重現性好**:蒸發過程中條件可重復,且易于實現規模化生產,能夠滿足工業應用的需求。
綜上所述,蒸發舟蒸發顆粒具備均勻性、高純度、可控性強及適用范圍廣等優點,使其在材料科學和工程領域中具有重要的應用價值。
蒸發舟是一種常用于實驗室或工業中蒸發液體的設備,主要用于蒸發顆粒的過程中。其適用范圍包括但不限于以下幾個方面:
1. **化工行業**:用于濃縮化學溶液、分離有機溶劑和提取活性成分。
2. **制藥行業**:在藥物研發和生產過程中,蒸發舟可以用于濃縮藥液和提取有效成分。
3. **食品行業**:用于濃縮果汁或其他液體食品,去除水分以提高產品的風味和保質期。
4. **環境保護**:在污水處理過程中,蒸發舟可以幫助去除水中的污染物。
5. **材料科學**:用于制備薄膜材料或其他需要控制成分濃度的材料。
6. **實驗室研究**:在化學、材料科學等領域的實驗中,用于蒸發和濃縮樣品。
總的來說,蒸發舟適用于需要對液體進行蒸發以實現分離、濃縮或提取的場合。不同的行業和應用可能對蒸發舟有不同的具體要求。
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